logo

Krasbestendig saffierglas Mohs 9 Halfgeleiderapparatuur Kijkvenster

Productspecificatie
Plaats van herkomst: Guangdong, China
Merknaam: ECER Optics
Certificering: ISO 9001:2015
Modelnummer: SW-SEM-HARD
Minimale bestelhoeveelheid: 10 stuks
Prijs: USD 8-50 / Piece
Betalingsvoorwaarden: T/T, PayPal, Western Union
Leveringscapaciteit: 30000 stuks per maand
Productdetails
Markeren:

Krasbestendig saffiervenster

,

Halfgeleiderapparatuurvenster

,

Mohs 9 Hardheid Optiek

Product Name: Krasbestendig saffiervenster
Application: Verwerking van halfgeleiderwafels
Hardness: Mohs 9
Material: Eén kristal saffier Al2O3
Diameter: Op maat gemaakt 10 mm - 200 mm
Chemical Resistance: Zuur-, base- en plasmabestendig
Surface Quality: 60-40 Scratch-Dig
Flatness: Lambda/4
Productbeschrijving
Krasbestendig saffier venster voor halfgeleiderapparatuur met Mohs 9
Dit krasbestendige saffier venster is ontworpen voor kijkvensters van halfgeleiderapparatuur, waar proceskamers vensters blootstellen aan plasma, deeltjeserosie en agressieve reinigingschemicaliën. Het venster is vervaardigd uit enkel kristal saffier met een hardheid van Mohs 9, na diamant de op één na hardste stof, waardoor het een optisch schoon oppervlak veel langer behoudt dan glas of kwarts kijkvensters.
Voor continu draaiende waferverwerkingsapparatuur vermindert het krasbestendige saffier venster onderhoudsonderbrekingen en zorgt het voor consistente inspectiebeelden gedurende de levensduur van de kamer. Halfgeleideromgevingen vereisen meer dan alleen hardheid, daarom is dit saffier venster ook gespecificeerd voor chemische bestendigheid tegen zuren, basen en plasmachemische stoffen, plus thermische stabiliteit over de temperatuurschommelingen van procescycli.
Elk venster is gepolijst tot een oppervlaktekwaliteit van 60-40 krassen-deuken met een vlakheid van lambda over 4, en de randprofielen zijn geslepen en afgeschuind om spanningsconcentraties in de montageflens te voorkomen. Op maat gemaakte diameters van 10 mm tot 200 mm en diktes aangepast aan vacuüm- of atmosferische drukwaarden zijn beschikbaar, en elke zending bevat materiaalcertificaten en dimensionale inspectierapporten voor apparatuurkwalificatie.
Technische Specificaties
Productnaam Krasbestendig saffier venster
Materiaal Enkel kristal saffier Al2O3
Hardheid Mohs 9
Diameter Op maat 10 mm - 200 mm
Dikte 1,0 mm - 8,0 mm op maat
Oppervlaktekwaliteit 60-40 krassen-deuken
Vlakheid Lambda/4 @ 632,8 nm
Chemische bestendigheid Zuur-, base- en plasmabestendig
Toepassing Halfgeleider waferverwerking
Certificaat RoHS-conform, ISO 9001:2015
Belangrijkste voordelen
  • Mohs 9 hardheid weerstaat krassen veroorzaakt door deeltjes en plasma
  • Chemische inertie overleeft agressieve reinigingschemicaliën in de kamer
  • Thermische stabiliteit weerstaat proces temperatuurcycli zonder breuk
  • Afgeschuinde geslepen randen verminderen spanningsconcentratie in de montageflens
  • Lange levensduur vermindert de frequentie van het vervangen van kijkvensters en de stilstand
  • Materiaalcertificaten ondersteunen de kwalificatie van halfgeleiderapparatuur
  • Op maat gemaakte maten passen bij vacuüm- en atmosferische proceskijkvensters
  • Consistente optische helderheid voor waferinspectie door het venster
Het krasbestendige saffier venster is ontworpen rond de werkelijke bedrijfsomstandigheden van halfgeleiderfabricage: herhaalde kameropeningen, plasmareinigingen en stromen van schurende deeltjes. Veldgegevens van onderhoudsprogramma's voor apparatuur tonen aan dat saffier kijkvensters doorgaans meerdere keren langer meegaan dan kwarts in ets- en depositieapparatuur, wat direct de eigendomskosten voor fabrieksexploitanten verlaagt.
Het venster is ook geschikt voor aangrenzende industrieën die hetzelfde profiel van zware omstandigheden delen, waaronder de verwerking van platte beeldschermen, de productie van zonnecellen en vacuümcoating systemen. Ontwerpers ontvangen montagebegeleiding, inclusief aanbevolen flenstoleranties en afdichtingsmaterialen, zodat het krasbestendige saffier venster zonder aanpassingen in bestaande kijkvensterontwerpen kan worden geïntegreerd.
Product V&A
V: Waarom hebben kijkvensters voor halfgeleiders saffier nodig in plaats van kwarts?
Proceskamers genereren plasma, deeltjes en reactieve chemicaliën die kwarts kijkvensters snel etsen en bekrasen, waardoor het optische pad vertroebelt. Saffier met Mohs 9 hardheid weerstaat deze schade gedurende veel langere cycli, en de chemische inertie voorkomt degradatie door reinigingsmiddelen. Het resultaat is minder kijkvensterwissels en stabielere inspectieomstandigheden.
V: Welke drukwaarden kan het venster ondersteunen?
De drukwaarde is afhankelijk van de diameter, dikte en het montageontwerp. Voor typische kijkvensters van 25 mm tot 100 mm ondersteunen diktes van 2 mm tot 8 mm vacuüm tot enkele bar differentiële druk. Wij bieden aanbevolen dikteberekeningen voor uw specifieke kameromstandigheden.
V: Kan het venster worden gecoat voor anti-reflectie in het zichtbare bereik?
Ja. Hoewel veel kijkvensters voor halfgeleiders onbehandeld saffier gebruiken voor maximale robuustheid, kunnen we een duurzame AR-coating aanbrengen voor zichtbare inspectiegolflengtes wanneer hogere transmissie nodig is. De coating wordt gevalideerd voor plasma- en chemische blootstelling vóór vrijgave.
V: Welke documentatie wordt verstrekt voor apparatuurkwalificatie?
Elke zending bevat saffier materiaalcertificaten, dimensionale inspectierapporten, oppervlaktekwaliteitsrecords en RoHS-verklaringen. Voor gekwalificeerde programma's kunnen we ook batch-niveau testgegevens voor chemische bestendigheid en resultaten van thermische cycli verstrekken.
verwant Producten
Neem contact op met onze experts en krijg een gratis consult!

Onze missie is om "High Quality" & "Good Service" & "Fast Delivery" aan te bieden om onze klanten te helpen meer winst te maken.